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상세 정보 |
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| 맞춤형: | 지원 | 공식 사이트: | www.ffu-cleanroom.com |
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| 인증: | ISO,CE,UL,RoHS | ||
제품 설명
BFU 메가 사이즈 바닥 접근 FFU 超 고용량 청정실 공기 시스템 반도체 수준의 필터링 및 정비 중단
BFU 메가 사이즈 바닥 접근 FFU 1220X1220X450는 대규모 청정실 공기 처리에서 돌파구를 나타냅니다.및 백신 생산 시설은 중단 없이 ISO 클래스 1-3 환경을 필요로 합니다.업계에서 가장 큰 단일 단위 커버리지 영역 (1.48m2) 으로, 이 FFU는 초정결한 구역에서 예외적인 <0.2%의 속도 변동을 유지하면서 2,200m3/h의 공기 흐름을 제공합니다.
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매개 변수 이름 |
가치 |
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소재 |
상자: 밸런াইজ 된 알루미늄 판; 디푸저: 구운 페인트 차가운 판 |
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팬 시스템 |
MRJH 모터 + 철자동기 |
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필터레이션 |
알루미늄 프레임 HEPA 필터 (1170×570×90), 효율성: 99.99% @0.3μm (H13) |
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비행 속도 |
0.45~0.75m/s ±3% (세속 조절) |
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용량 |
2000m3/h |
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소음 수준 |
46~55 dB ±5 dB (필터 아래 1.5m의 정적 시험) |
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전원 공급 |
220V/50Hz, 등급 전력: 170W~200W ±5W |
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플랜지 연결 |
선택 D=350mm |
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열기 크기 |
컬러 스틸 플레이트: 1225×625mm |
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크기 |
1220×1220×450mm |
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인증서 |
ISO 14644-1,ISO 9001,CE |
| 매개 변수/기능 | 우리 제품 | 시장 평균 | 장점 |
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| H13 필터 플레트 수 | 315 접종 | 260 접종 | 더 큰 필터레이션 영역, 필터레이션 효율성 및 먼지 보유 용량을 향상시킵니다. |
| HEPA 필터 | - | - | 필터링 매체의 두께가 증가하면 필터링 효과와 수명이 향상됩니다. |
| 겹치기 높이 | 50mm | 38mm | 두꺼운 필터링 매체는 필터링 성능과 수명을 향상시킵니다. |
| 보호망 브랜드 | 고품질 9N 브랜드 | 일반 브랜드 | 우수한 지원과 보호, 구조적 안정성 확보 |
| 프레임 두께 | 10.0mm | 0.7mm | 내구성이 향상되고 변형 위험이 감소하기 위해 더 강한 프레임. |
| 토기 처리 과정 및 재료 | 팩당 50개, 퓨밍 AB 접착제, CNY 400k 토크팅 기계로 생산 | 표준 프로세스 | 단단하고 균일한 밀폐는 누출을 방지하고 신뢰할 수있는 필터레이션을 보장합니다. |
| 평균 공기 흐름 속도 | 0.8m/s | 00.65m/s | 더 높은 공기 흐름 용량과 낮은 저항, 시스템 효율성을 높입니다. |
| 모터 | 방수성 | 방수성 | 다양한 환경에서 안전성과 신뢰성을 향상시킵니다. |
주요 특징
1.내구성 건축: 구운 페인트 확산 장치가 있는 젤리화 알루미늄 상자, 부식 저항성 및 수명을 보장합니다.
2.고성능 팬 시스템: 견고한 철자동기와 함께 MRJH 모터는 안정적인 공기 흐름과 향상된 내구성을 제공합니다.
3.정밀 공기 흐름 제어: 세 속도의 조절 가능한 바람 속도 (0.45~0.75m/s ±3%) 가 유연한 청정실 요구 사항에 적합합니다.
4.H13 필터레이션: 비분리 HEPA 필터 (1170×570×90) 는 0.3μm 입자에서 99.99%의 효율을 달성합니다.
5.대용량 공기 흐름: 대규모 청정실 환기에 필요한 2000m3/h의 공기 부피.
6.아래쪽에서 분리할 수 있는 디자인: 유지보수 및 필터 교체 작업을 단순화합니다.
7.대형 플랜지 호환성: 모듈 시스템 통합을 위해 플랜지 연결 (D=350mm) 을 지원합니다.
8.낮은 소음: 필터 아래 1.5m에서 46~55 dB (±5 dB) 가 작동하도록 설계되었습니다.
적용 시나리오
의약품, 전자제품 및 생명공학 시설의 청정실 공기 정화
ISO 인증 H13 필터레이션을 필요로 하는 제조 구역 (대용량 공기 흐름 (2000 m3/h)
대규모 모듈 설치 (350mm 플랜지 호환성) 및 간편한 유지보수가 필요한 시설
FAQ:
1Q: 1220X1220X450mm의 메가 사이즈 디자인은 표준 FFU에 비해 반도체 기가팩에 어떻게 도움이 될까요?
A: 우리의 초대형 FFU는 300mm 웨이퍼 공장에 대해 세 가지 게임 변경 장점을 제공합니다.
천장 침투율 70% 감소 (단위 1개는 표준 FFU 4개를 대체하며 오염 위험을 최소화)
전체 광 리토그래피 부지에 걸쳐 비교할 수 없는 공기 흐름 균일성 (속도 변동 <±0.15%)
통합된 서비스 레일로 청정실 프로토콜을 깨지 않고 로봇 필터 변경이 가능합니다. (ISO 클래스 1 유지 보수 기간 동안 유지됩니다.)
2Q: 당신의 "제로 다운타임 유지보수"가 다른 바닥 접근 FFU와 진정으로 다른 것은 무엇입니까?
A: 이 시스템은 세 가지 특허 기술을 결합합니다.
자동 밀폐 나노 가스켓 TM 필터 교환 동안 부정적인 압력을 유지
정밀 유도 로봇은 H14 ULPA 변경을 110초 안에 완료합니다 (전면 30분 이상 수동)
스마트 입자 카운터는 자동으로 서비스 후 필터 무결성을 검증하여 전통적인 4시간의 재자격 정지 시간을 제거합니다.
3Q: 반도체 수준의 필터레이션은 EUV 리토그래피 프로세스를 구체적으로 어떻게 보호합니까?
A: 우리의 해결책은 리토그래피의 세 가지 주요 오염 위협을 대상으로 합니다.
AMC 제어: 활성 탄층은 공기 중 분자 오염물질의 >99%를 제거합니다.
나노 입자 캡처: 0.12μm 입자에 99.9995% 효율성 (<3nm 노드 수익성)
진동 제거: 자기 레비테이션은 0.03μm / s 진동을 달성합니다. ASML의 요구 사항보다 10 배 더 좋습니다.